Сада све више корисника разуме врсте мета ињегове примене, али њена подела можда није баш јасна.Сада хајдеРСМ инжењер поделим са ваманека индукција циљева магнетронског распршивања.
Мета за распршивање: мета за распршивање метала, мета за премазивање легуре, мета за премазивање керамичким распршивањем, мета за распршивање боридне керамике, мета за распршивање карбидне керамике, мета за распршивање флуорида, керамичка нитридна мета за распршивање, оксидна керамичка мета за распршивање, оксидна керамичка мета за распршивање, оксидна керамичка мета за распршивање мета, сулфидна керамичка мета за распршивање, телуридна керамичка мета за распршивање, друге керамичке мете, керамичка мета допирана силицијум оксидом хромом (ЦР СиО), мета индијум фосфида (ИНП), мета олово-арсенида (пбас), мета индијум арсенида (ИнАс).
Магнетронско распршивање се генерално дели на два типа: ДЦ распршивање и РФ распршивање.Принцип опреме за распршивање једносмерне струје је једноставан, а његова брзина је такође брза приликом прскања метала.РФ распршивање се широко користи.Поред распршивања проводних података, може да распршује и непроводне податке.Циљ за распршивање се такође може користити за реактивно распршивање за припрему података о једињења као што су оксиди, нитриди и карбиди.Ако се РФ фреквенција повећа, то ће постати распршивање микроталасне плазме.Тренутно се најчешће користи микроталасна плазма распршивање електронске циклотронске резонанце (ЕЦР).
Време поста: 26.05.2022