Циљ има широко тржиште, област примене и велики развој у будућности.Да би вам помогао да боље разумете функције циља, овде испод РСМ инжењер ће укратко представити главне функционалне захтеве циља.
Чистоћа: чистоћа је један од главних функционалних показатеља мете, јер чистоћа мете има велики утицај на функцију филма.Међутим, у практичној примени, захтеви за чистоћу мете су такође различити.На пример, са брзим развојем индустрије микроелектронике, величина силицијумске плочице је проширена са 6 "на 8" на 12 ", а ширина ожичења је смањена са 0,5 ум на 0,25 ум, 0,18 ум или чак 0,13 ум.Раније је 99,995% циљне чистоће могло да испуни захтеве процеса од 0,35ум, док је за припрему линија од 0,18ум потребно 99,999% или чак 99,9999% циљне чистоће.
Садржај нечистоћа: нечистоће у циљним чврстим материјама и кисеоник и водена пара у порама су главни извори загађења депонованих филмова.Мете за различите намене имају различите захтеве за различите садржаје нечистоћа.На пример, мете од чистог алуминијума и легура алуминијума које се користе у индустрији полупроводника имају посебне захтеве за садржај алкалних метала и садржај радиоактивних елемената.
Густина: да би се смањиле поре у циљној чврстој материји и побољшала функција филма за распршивање, обично се захтева да мета има велику густину.Густина мете не утиче само на брзину прскања, већ утиче и на електричне и оптичке функције филма.Што је већа циљна густина, то је боља функција филма.Поред тога, густина и чврстоћа мете су побољшани тако да мета може боље да прихвати топлотни стрес у процесу распршивања.Густина је такође један од кључних функционалних индикатора мете.
Време поста: 20. мај 2022