Мета има много функција и широку примену у многим областима.Нова опрема за распршивање скоро користи моћне магнете за спиралу електрона како би убрзала јонизацију аргона око мете, што повећава вероватноћу судара између мете и јона аргона,
Повећајте брзину прскања.Генерално, ДЦ распршивање се користи за премазивање метала, док се РФ комуникацијско распршивање користи за непроводне керамичке магнетне материјале.Основни принцип је коришћење усијаног пражњења за ударање јона аргона (АР) на површину мете у вакууму, а катјони у плазми ће убрзати да појуре на површину негативне електроде као прскани материјал.Овај удар ће учинити да материјал мете излети и таложи се на подлогу да би се формирао филм.
Генерално, постоји неколико карактеристика филмског премаза помоћу процеса прскања:
(1) Метал, легура или изолатор могу се направити у танкослојним подацима.
(2) Под одговарајућим условима постављања, филм истог састава може бити направљен од вишеструких и неуређених мета.
(3) Мешавина или једињење циљног материјала и молекула гаса може да се направи додавањем кисеоника или других активних гасова у атмосферу пражњења.
(4) Циљна улазна струја и време прскања могу се контролисати и лако је добити дебљину филма високе прецизности.
(5) То је корисно за производњу других филмова.
(6) На распршене честице тешко утиче гравитација, а мета и супстрат се могу слободно организовати.
Време поста: 24.05.2022