Примена и принцип мете за прскање

О примени и принципу технологије распршивања циља, неки купци су консултовали РСМ, сада за овај проблем који више брине, технички стручњаци деле нека специфична сродна знања.

　　Примена мете за прскање:

Честице пуњења (као што су јони аргона) бомбардују чврсту површину, узрокујући да површинске честице, као што су атоми, молекули или снопови, побегну са површине објекта, феномен који се назива „прскање“.У премазима магнетронским распршивањем, позитивни јони генерисани јонизацијом аргона обично се користе за бомбардовање чврсте супстанце (мете), а распршени неутрални атоми се таложе на подлогу (обрадак) да би формирали слој филма.Магнетронски премаз има две карактеристике: „ниска температура“ и „брза“.

　　Принцип магнетронског распршивања:

Ортогонално магнетно поље и електрично поље се додају између распршеног циљног пола (катоде) и аноде, а потребан инертни гас (обично Ар гас) се пуни у комору високог вакуума.Трајни магнет формира магнетно поље од 250-350 Гауса на површини циљаног материјала и формира ортогонално електромагнетно поље са електричним пољем високог напона.

Под дејством електричног поља, Ар гас се јонизује у позитивне јоне и електроне, а на мети постоји одређени негативан висок притисак, тако да на електроне емитоване са циљног пола утиче магнетно поље и вероватноћа јонизације рада. гас се повећава.У близини катоде се формира плазма високе густине, а јони Ар убрзавају до површине мете под дејством Лоренцове силе и великом брзином бомбардују површину мете, тако да распршени атоми на мети излазе са површине мете великом брзином. кинетичке енергије и лете до подлоге да формирају филм по принципу конверзије импулса.

Магнетронско распршивање се генерално дели на две врсте: ДЦ распршивање и РФ распршивање.Принцип опреме за распршивање једносмерне струје је једноставан, а брзина је брза приликом прскања метала.Примена РФ распршивања је обимнија, поред распршивања проводних материјала, али и распршивања непроводних материјала, али и реактивног прскања препарата оксида, нитрида и карбида и других сложених материјала.Ако се фреквенција РФ повећа, то постаје распршивање микроталасне плазме.Тренутно се уобичајено користи микроталасна плазма распршивање типа електронске циклотронске резонанце (ЕЦР).