Многи корисници не размишљају о куповини мета са професионалне тачке гледишта, па на шта треба обратити пажњу приликом куповине мета?Замолимо Сјаобиана из Пекинга Руичија да укаже на ствари на које треба обратити пажњу приликом куповине мета.
Прво, за мету, чистоћа је један од њених главних функционалних индикатора, а чистоћа мете има велики утицај на функцију каснијег филма производа.Сваки производ такође има различите захтеве за чистоћу мете.
Друго, садржај нечистоћа појединих елемената у мети.Након серије циљне обраде, нечистоће у циљној чврстој материји и кисеоник и водена пара у порама су главни извори загађења депонованих филмова.Због различите употребе мета, различити су и захтеви за различите садржаје нечистоћа у метама различите намене.На пример, мете од чистог алуминијума и легура алуминијума које се користе у индустрији полупроводника сада имају посебне захтеве за садржај алкалних метала и радиоактивних елемената.
Густина је такође један од важних индекса перформанси мете. У техничком процесу мете, да би се смањиле поре у чврстој мети и побољшала функција распршеног филма, мета је генерално потребна висока густина.Главна карактеристична густина мете има велики утицај на брзину распршивања и утиче на електричне и оптичке функције филма.Што је већа циљна густина, то је боља функција филма.
Коначно, величина зрна и дистрибуција зрна.Обично је циљни материјал поликристалан, а величина зрна може да се креће од микрона до милиметра.За исту мету, брзина распршивања мете финог зрна је већа од оне са крупнозрном метом;Дебљина филмова депонованих циљаним распршивањем са малом разликом у величини зрна (уједначена дисперзија) је уједначенија.
Време поста: Јун-10-2022