Распршени циљни материјали имају високе захтеве током употребе, не само за чистоћу и величину честица, већ и за уједначену величину честица.Ови високи захтеви нас терају да посветимо више пажње када користимо циљане материјале за распршивање.
1. Припрема за прскање
Веома је важно одржавати чистоћу вакуум коморе, посебно система за распршивање.Мазива, прашина и било који остатак од претходних премаза могу акумулирати загађиваче као што је вода, директно утичући на вакуум и повећавајући вероватноћу неуспеха формирања филма.Кратки спојеви, стварање лука на мети, грубе површине које стварају филм и прекомерне хемијске нечистоће обично су узроковане нечистим коморама за распршивање, пушкама и метама.
Да би се одржале карактеристике састава премаза, гас за распршивање (аргон или кисеоник) мора бити чист и сув.Након уградње подлоге у комору за распршивање, потребно је извући ваздух да би се постигао потребан ниво вакуума за процес.
2. Чишћење мете
Сврха чишћења мете је уклањање прашине или прљавштине која може постојати на површини мете.
3. Циљна инсталација
Најважнија ствар на коју треба обратити пажњу током процеса уградње циљаног материјала је да се обезбеди добра термичка веза између циљаног материјала и расхладног зида пиштоља за распршивање.Ако су зид за хлађење или задња плоча озбиљно искривљени, то може изазвати пуцање или савијање током уградње циљног материјала.Пренос топлоте са задње мете на циљни материјал ће бити у великој мери погођен, што резултира немогућношћу расипања топлоте током распршивања, што на крају доводи до пуцања или одступања циљног материјала.
4. Преглед кратког споја и заптивања
Након уградње циљног материјала потребно је проверити кратки спој и заптивање целе катоде.Препоручљиво је користити омметар и мегоомметар да бисте утврдили да ли је катода кратко спојена.Након потврде да катода није кратко спојена, може се извршити детекција цурења убризгавањем воде у катоду како би се утврдило да ли постоји цурење.
5. Циљни материјал пре прскања
Препоручује се употреба чистог гаса аргона за претходно распршивање циљног материјала, који може очистити површину циљног материјала.Препоручује се полагано повећање снаге распршивања током процеса претходног распршивања за циљни материјал.Снага керамичког циљаног материјала
Време поста: 19.10.2023