Сада морамо бити добро упознати са метом, сада се циљно тржиште такође повећава, следеће је главне перформансе мете за прскање које дели уредник из РСМ-а
Чистоћа
Чистоћа циљног материјала је један од главних индекса перформанси, јер чистоћа циљног материјала има велики утицај на перформансе танког филма.Међутим, у практичној примени, захтеви за чистоћом циљних материјала нису исти.На пример, са брзим развојем индустрије микроелектронике, величина силицијумског чипа је развијена са 6 ", 8 " на 12 ″, а ширина ожичења је смањена са 0,5 ум на 0,25 ум, 0,18 ум или чак 0,13 ум.Раније, чистоћа циљног материјала од 99,995% може задовољити захтеве процеса од 0,35умИЦ.Чистоћа циљног материјала је 99,999% или чак 99,9999% за припрему линија од 0,18ум.
Садржај нечистоћа
Нечистоће у циљној чврстој материји и кисеоник и водена пара у порама су главни извори загађења таложења филма.Циљни материјали за различите намене имају различите захтеве за различит садржај нечистоћа.На пример, мете од чистог алуминијума и легура алуминијума које се користе у индустрији полупроводника имају посебне захтеве за садржај алкалних метала и радиоактивних елемената.
Густина
Да би се смањила порозност у циљној чврстој материји и побољшале перформансе филма за распршивање, обично је потребна велика густина мете.Густина мете утиче не само на брзину распршивања већ и на електрична и оптичка својства филма.Што је већа циљна густина, то су боље перформансе филма.Поред тога, повећање густине и јачине мете чини циљ да боље издржи топлотни стрес у процесу распршивања.Густина је такође један од кључних индекса учинка циља.
Величина зрна и величина зрна
Мета је обично поликристална са величином зрна у распону од микрометра до милиметра.За исту мету, брзина прскања мете са малим зрнима је бржа од оне мете са великим зрнима.Расподела дебљине филмова нанесених метом за распршивање са мањом разликом у величини зрна (уједначена дистрибуција) је уједначенија.
Време поста: 04.08.2022