Распршене молибденске мете су нашироко коришћене у електронској индустрији, соларним ћелијама, стакленим премазима и другим пољима због својих инхерентних предности.Са брзим развојем модерне технологије у минијатуризацији, интеграцији, дигитализацији и интелигенцији, употреба молибденских мета ће наставити да расте, а захтеви за квалитетом за њих ће такође постати све виши.Дакле, морамо пронаћи начине да побољшамо стопу искоришћења циљева молибдена.Сада ће уредник РСМ-а представити неколико метода за побољшање стопе искоришћења мете молибдена за прскање за све
1. Додајте електромагнетну завојницу на полеђину
Да би се побољшала стопа искоришћења распршене молибденске мете, електромагнетна завојница се може додати на полеђину планарне мете молибдена која распршује магнетрон, а магнетно поље на површини мете молибдена може се повећати повећањем струје од електромагнетни калем, како би се побољшала стопа коришћења молибденске мете.
2. Изаберите цевасти ротирајући циљни материјал
У поређењу са равним метама, избор цевасте ротирајуће структуре мете наглашава њене суштинске предности.Генерално, стопа искоришћења равних мета је само 30% до 50%, док стопа искоришћења цевних ротирајућих мета може достићи и преко 80%.Штавише, када се користи ротирајућа шупља цев Магнетрон мете за распршивање, пошто мета може да се окреће око склопа магнета са фиксном шипком све време, неће доћи до поновног таложења на његовој површини, тако да је живот ротирајуће мете генерално више од 5 пута дужи него код авионске мете.
3. Замените новом опремом за распршивање
Кључ за побољшање стопе искоришћења циљних материјала је да се заврши замена опреме за распршивање.Током процеса распршивања циљаног материјала за распршивање молибдена, око једна шестина атома за распршивање депоноваће се на зид или носач вакуумске коморе након удара водоникових јона, повећавајући трошкове чишћења вакуумске опреме и застоја.Дакле, замена нове опреме за распршивање такође може помоћи у побољшању стопе искоришћења циљева за распршивање молибдена.
Време поста: 24.05.2023