Разлике између премаза за испаравање и премаза за распршивање

Као што сви знамо, вакуумско испаравање и јонско распршивање се обично користе у вакуумском премазивању.Која је разлика између премаза за испаравање и премаза за распршивање?Следеће, технички стручњаци из РСМ ће поделити са нама.

Вакуумско евапорационо превлачење је загревање материјала који се испарава до одређене температуре помоћу отпорног загревања или електронског снопа и ласерског бомбардовања у окружењу са степеном вакуума не мањим од 10-2Па, тако да енергија топлотне вибрације молекула или атома у материјалу премашује енергију везивања површине, тако да велики број молекула или атома испарава или сублимира, и директно се таложи на супстрату и формира филм.Премаз за јонско распршивање користи брзо кретање позитивних јона генерисаних гасним пражњењем под дејством електричног поља да бомбардује мету као катоду, тако да атоми или молекули у мети побегну и таложе се на површину обложеног радног предмета како би се формирали потребан филм.

Најчешће коришћена метода вакуумског испаравања премаза је отпорно загревање, које има предности једноставне структуре, ниске цене и практичног рада;Недостатак је што није погодан за ватросталне метале и диелектричне материјале отпорне на високе температуре.Грејање електронским снопом и ласерско грејање могу да превазиђу недостатке отпорног грејања.У загревању електронским снопом, фокусирани електронски сноп се користи за директно загревање бомбардованог материјала, а кинетичка енергија електронског снопа постаје топлотна енергија, због чега материјал испарава.Ласерско грејање користи ласер велике снаге као извор грејања, али због високе цене ласера ​​велике снаге, тренутно се може користити само у неколико истраживачких лабораторија.

Технологија прскања се разликује од технологије вакуумског испаравања.„Пускање“ се односи на феномен да наелектрисане честице бомбардују чврсту површину (мету) и чине да чврсти атоми или молекули избаце са површине.Већина емитованих честица је у атомском стању, које се често назива распршеним атомима.Распршене честице које се користе за бомбардовање мете могу бити електрони, јони или неутралне честице.Пошто се јони лако убрзавају под електричним пољем да би добили потребну кинетичку енергију, већина њих користи јоне као бомбардоване честице.Процес распршивања се заснива на усијаном пражњењу, то јест, јони за распршивање долазе из гасног пражњења.Различите технологије прскања прихватају различите начине пражњења сјајем.ДЦ распршивање диода користи ДЦ сјајно пражњење;Триодно распршивање је усијано пражњење подржано врућом катодом;РФ распршивање користи РФ сјајно пражњење;Магнетронско распршивање је сјајно пражњење које контролише прстенасто магнетно поље.

У поређењу са премазом за вакуумско испаравање, премаз за распршивање има много предности.На пример, било која супстанца се може прскати, посебно елементи и једињења са високом тачком топљења и ниским притиском паре;Адхезија између распршеног филма и подлоге је добра;Висока густина филма;Дебљина филма се може контролисати и поновљивост је добра.Недостатак је што је опрема сложена и захтева високонапонске уређаје.

Поред тога, комбинација методе испаравања и методе распршивања је јонско полагање.Предности ове методе су да добијени филм има јаку адхезију са подлогом, високу стопу таложења и велику густину филма.