Тренутно, скоро све металне бакарне мете високе класе ултра-високе чистоће које захтева ИЦ индустрија су монополизоване од стране неколико великих страних мултинационалних компанија.Све мете ултра чистог бакра које су потребне домаћој ИЦ индустрији морају бити увезене, што није само скупо, већ је и компликовано у увозним процедурама. Стога Кина хитно треба да побољша развој и верификацију мета за распршивање бакра ултра високе чистоће (6Н) .Хајде да погледамо кључне тачке и потешкоће у развоју мета за распршивање бакра ултра-високе чистоће (6Н).
1、Развој материјала ултра високе чистоће
Технологија пречишћавања Цу, Ал и Та метала високе чистоће у Кини је далеко од оне у индустријски развијеним земљама.Тренутно, већина метала високе чистоће који се могу обезбедити не могу да задовоље захтеве квалитета интегрисаних кола за мете за распршивање према конвенционалним методама анализе свих елемената у индустрији.Број инклузија у мети је превисок или неравномерно распоређен.Честице се често формирају на плочици током прскања, што доводи до кратког споја или отвореног кола интерконекције, што озбиљно утиче на перформансе филма.
2、Развој технологије припреме мета распршивањем бакра
Развој технологије припреме мета за распршивање бакра углавном се фокусира на три аспекта: величину зрна, контролу оријентације и униформност.Индустрија полупроводника има највише захтеве за мете за распршивање и испаравање сировина.Има веома строге захтеве за контролу величине зрна површине и оријентације кристала мете.Величина зрна мете се мора контролисати на 100μ М испод, дакле, контрола величине зрна и средства корелационе анализе и детекције су веома важни за развој металних мета.
3、Развој анализе итестирање технологије
Висока чистоћа мете значи смањење нечистоћа.Раније су се за одређивање нечистоћа користиле индуктивно спрегнута плазма (ИЦП) и атомска апсорпциона спектрометрија, али се последњих година постепено користи као стандард анализа квалитета сјајног пражњења (ГДМС) са већом осетљивошћу. методом.Метода односа резидуалног отпора РРР се углавном користи за одређивање електричне чистоће.Његов принцип одређивања је да се процени чистоћа основног метала мерењем степена електронске дисперзије нечистоћа.Пошто је мерење отпора на собној температури и веома ниској температури, једноставно је узети број.Последњих година, да би се истражила суштина метала, веома су активна истраживања ултра-високе чистоће.У овом случају, РРР вредност је најбољи начин да се процени чистоћа.
Време поста: 06.05.2022