Карактеристике алуминијумских мета за распршивање ултра високе чистоће

Последњих година, са напретком технологије интегрисаних кола (ИЦ), сродне примене интегрисаних кола су се брзо развијале.Мета за распршивање алуминијумске легуре ултра високе чистоће, као помоћни материјал у производњи металних интерконекција интегрисаних кола, постала је врућа тема у недавним домаћим истраживањима.уредник РСМ-а ће нам показати карактеристике мете за прскање од легуре алуминијума високе чистоће.

У циљу даљег побољшања ефикасности распршивања магнетронске мете за распршивање и обезбеђивања квалитета депонованих филмова, велики број експеримената показује да постоје одређени захтеви за састав, микроструктуру и оријентацију зрна мета за распршивање легуре алуминијума ултра високе чистоће.

Величина зрна и оријентација зрна мете имају велики утицај на припрему и својства ИЦ филмова.Резултати показују да се стопа таложења смањује са повећањем величине зрна;За мету за распршивање са истим саставом, брзина распршивања мете са малом величином зрна је већа од оне мете са великом величином зрна;Што је уједначенија величина зрна мете, то је равномернија дистрибуција дебљине нанесених филмова.

Под истим инструментом за распршивање и параметрима процеса, брзина распршивања циља легуре Ал Цу расте са повећањем атомске густине, али је генерално стабилна у опсегу.Ефекат величине зрна на брзину распршивања је последица промене атомске густине са променом величине зрна;На брзину таложења углавном утиче оријентација зрна легуре Ал Цу.На основу обезбеђивања пропорција (200) кристалних равни, повећање удела (111), (220) и (311) кристалних равни ће повећати стопу таложења.

Величина зрна и оријентација зрна мета алуминијумске легуре ултра-високе чистоће се углавном прилагођавају и контролишу хомогенизацијом ингота, топлом обрадом и рекристализационим жарењем.Са развојем величине плочице на 20,32 цм (8 ин) и 30,48 цм (12 ин), циљна величина се такође повећава, што поставља веће захтеве за мете за распршивање алуминијумске легуре ултра високе чистоће.Да би се обезбедио квалитет филма и принос, параметри циљне обраде морају бити строго контролисани како би циљна микроструктура била уједначена, а оријентација зрна мора имати јаке (200) и (220) равне текстуре.