Рицх Специал Материал Цо., Лтд. може произвести мете за распршивање алуминијума високе чистоће, мете за распршивање бакра, мете за распршивање тантала, мете за распршивање титанијума итд. за индустрију полупроводника.
Полупроводнички чипови имају високе техничке захтеве и високе цене за мете за распршивање.Њихови захтеви за чистоћом и технологијом мета за распршивање су већи од захтева за равним екранима, соларним ћелијама и другим апликацијама.Полупроводнички чипови постављају изузетно строге стандарде о чистоћи и унутрашњој микроструктури мета за распршивање.Ако је садржај нечистоћа у мети за распршивање превисок, формирани филм не може да испуни потребна електрична својства.У процесу прскања, лако је формирати честице на плочици, што доводи до кратког споја или оштећења кола, што озбиљно утиче на перформансе филма.Уопштено говорећи, за производњу чипова је потребан циљ распршивања највеће чистоће, што је обично 99,9995% (5Н5) или више.
Мете за распршивање се користе за израду слојева баријере и паковања металних слојева ожичења.У процесу производње плочице, мета се углавном користи за израду проводног слоја, слоја баријере и металне мреже плочице.У процесу паковања чипова, мета за распршивање се користи за стварање металних слојева, слојева ожичења и других металних материјала испод избочина.Иако је количина циљних материјала који се користе у производњи вафла и паковању чипова мала, према СЕМИ статистици, цена циљних материјала у процесу производње и паковања вафла износи око 3%.Међутим, квалитет мете за распршивање директно утиче на униформност и перформансе проводног слоја и слоја баријере, чиме утиче на брзину преноса и стабилност чипа.Стога је мета за распршивање једна од основних сировина за производњу полупроводника
Време поста: 16.11.2022