Предности цилиндричних и планарних магнетронских мета за распршивање

Технички консултант РСМ-а ће са вама поделити предности цилиндричних и планарних магнетронских мета за распршивање?У поређењу са другим магнетронским метама за распршивање, цилиндричне и планарне мете за распршивање магнетрона задржавају предности добре униформности превлаке правоугаоних равних мета и могу максимално искористити мете на следећа два начина:

(1) Када две групе (четири) прстенастих јама на површини мете достигну одређену дубину, циљно језгро (магнетни део) може да се ротира за 45 ° у односу на циљну цев, тако да друге области на циљној цеви који нису кородирани могу се користити;

(2) Када је циљно језгро цилиндричне и планарне мете за распршивање магнетрона дизајнирано као ротирајуће циљно језгро (циљно језгро се ротира током распршивања), површина мете може бити равномерно распршена слој по слој без удубљења.У овом тренутку, мета ће се користити најефикасније, а стопа искоришћења мете може да достигне 50% ~ 60% Када је циљни материјал племенити метал, ово је очигледно од великог значаја.

Коришћењем принципа магнета са снопом у коаксијалној цилиндричној мети за распршивање магнетрона за решавање проблема крајњег магнетног поља, правоугаона равна мета се може трансформисати у цилиндричну и равну мету за распршивање магнетрона, циљ може максимизирати стопу искоришћења мете задржавајући добру униформност премаза правоугаоне равне мете Како би се побољшале економске користи.